天津綠菱氣體股份有限公司是全球高純電子特氣的主要供應(yīng)商之一，為中芯國際、長江存儲(chǔ)、京東方、臺(tái)積電、英特爾等國內(nèi)外知名大型半導(dǎo)體芯片制造商供應(yīng)產(chǎn)品和服務(wù)，自主研發(fā)的二十多種半導(dǎo)體制程氣體材料成功填補(bǔ)國內(nèi)空白并首次實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品凈進(jìn)口轉(zhuǎn)為出口，為全球唯一高純氧硫化碳電子特氣產(chǎn)品工業(yè)化生產(chǎn)供應(yīng)商，產(chǎn)品市場占有率60%以上。
斬獲此次獎(jiǎng)項(xiàng)，綠菱氣體主要依托其自主研發(fā)的電子級溴化氫（HBr）產(chǎn)品。在該產(chǎn)品研發(fā)過程中，其技術(shù)團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)多年攻關(guān)，成功突破了在強(qiáng)腐蝕環(huán)境下設(shè)備選型與工程設(shè)計(jì)、高效吸附純化系統(tǒng)開發(fā)等一系列核心技術(shù)難題，目前綠菱氣體研發(fā)的電子級溴化氫（HBr）已通過國內(nèi)主流芯片企業(yè)的認(rèn)證，并實(shí)現(xiàn)向國內(nèi)主要存儲(chǔ)芯片、先進(jìn)邏輯芯片及車規(guī)級芯片企業(yè)的規(guī)；⿷(yīng)。
這一成果不僅解決了該領(lǐng)域長期面臨的“卡脖子”問題，打破了國外技術(shù)壟斷，更實(shí)現(xiàn)了我國電子特氣領(lǐng)域關(guān)鍵產(chǎn)品的國產(chǎn)化替代，綠菱氣體也躋身全球極少數(shù)掌握電子級溴化氫量產(chǎn)技術(shù)的電子特氣企業(yè)之列。
下一步，天津經(jīng)開區(qū)將持續(xù)優(yōu)化營商環(huán)境，支持區(qū)內(nèi)企業(yè)在關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)上取得更大突破，為保障國家產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全、推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展作出更大貢獻(xiàn)。
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